Vakuummagnetronforstøvningsteknikk er bruken av den kvinnelige, bipolare elektrodeoverflaten med magnetfeltet til elektronet i katodeoverflatens drift, ved å sette måloverflatens elektriske felt vinkelrett på magnetfeltet, øker elektronet slag, øker ioniseringshastigheten av gassen, mens høyenergipartiklene gasser og taper energi etter kollisjonen og dermed lavere substrattemperatur, kompletterer belegget på et ikke-temperaturbestandig materiale.