Inline sputtering system
-
Inline Magnetron Sputtering system
Inline Magnetron Sputtering-system er et slags vakuum tynnfilmavsetningsutstyr som fungerer til forskjellige formål.De vanligste bruksområdene for sputterlinjen vår inkluderer:
Produksjon av speil i aluminium
- ITO glassbelegg
- Anti-reflekterende glass
- Dekorative belegg for rustfritt stål og glass
Dette beleggsystemet er egnet for høyklasses vakuumbeleggingsapplikasjoner.Den gir stabil arbeidsytelse for å forbedre kvaliteten på vakuumbeleggfilmer.
-
ITO Glass Magnetron Sputtering Coating Line
ITO Glass Magnetron Sputtering Coating Line tar i bruk vakuummagnetronforstøvningsteknologi og ubalansert magnetronforstøvningsteknologi for å belegge floatglass av høy kvalitet med SO2/ITO-lag.Basert på internasjonalt avansert kontrollsystem.Hele produksjonsprosessen fungerer automatisk og kontinuerlig.
-
Aluminiumsspeil Inline Magnetron Sputtering Line
Aluminium Mirror Inline Magnetron Sputtering Line er designet for høy produksjon av glassspeilproduksjonsformål.For å belegge større glass og ta vare på skjøre glasspaneler, spesielt for de store arkene, lager vi vanligvis horisontale sputterlinje.Det er en kontinuerlig magnetronbelegglinje, med det fremre og bakre grove pumpekammeret, og etter overgangskammeret, før og etter det fine pumpekammeret, et bufferkammer, fargepletteringsrom.
Måldesign: sylindriske magnetronsputteringskatoder eller/og plane katoder.
Strømkilde: strømforsyning med høyeffekt DC eller MF magnetronsputtering
Drivsystem: rulledrift, frekvensjusterbar, induksjonstype romdøråpningssystem.
Vakuumsystem: diffusjonspumpe (eller turbo molekylær pumpe) + rotpumpe + mekanisk pumpe
