Inline Magnetron Sputtering system
Inline magnetron sputtering beleggmaskin er hovedsakelig DC (eller MF) magnetron sputtering belegg kan tilpasses et bredt spekter av mål, for eksempel: kobber, titan, krom, rustfritt stål, nikkel og andre metallmaterialer som kan belegges ved hjelp av en sputtering prosess kan forbedre filmadhesjon, reproduserbarhet, tetthet, ensartethet og andre egenskaper.
- en.De grunnleggende egenskapene og parametrene
- b.horisontal linjestruktur kan realiseres samtidig belagt på den ene siden
- c.produksjonseffektivitet, de raskeste hastighetene på opptil 1 min / slag
- d.modulær design, enkelt vedlikehold
- e.plating prosess modenhet, høy avkastning
- f.DC magnetron sputtering katoder kan variere avhengig av kundens krav
- g.Vakuumsystemet består av en mekanisk pumpe, Roots-pumper, diffusjonspumper (molekylær pumpe) Sammensetning
- h.Linjens kroppsstørrelse kan variere avhengig av kundens krav
- 1) Vakuum kammer kroppen materialer brukt SUS304, polering en vakuum kammer vegg behandling, ytre veggen spray polering perler behandling.
- 2) Bruk av en uavhengig gateventil mellom vakuumkammeret - klaffventil fra hverandre, kan effektivt kutte av, stabilisere prosessgassen.For tiden adopterer selskapet vårt klaffventildesign, det tetter bedre, mer holdbart enn den gjeldende innenlandske felles klaffventilen.
- 3) Overføring bruker magnetisk guide, beskytter stabiliteten til stasjonen.For hver hastighet på hele produksjonslinjen som bruker VVVF-motordrift, kan kjørehastigheten justeres.
- 4) Elektrisk kontrollsystem: berøringsskjerm og automatisk PLS-kontroll, mann-maskin-dialog for å oppnå datavisningssystemet, driftsparametere og kontrollteknologi
- 1) Ultimativt vakuumtrykk: 6 × 1 0E-4 Pa
- 2) den gjennomsnittlige produksjonssyklusen: i henhold til produktet som er bestemt
- 3) Substratholderen Størrelse: kan tilpasses i henhold til kravene til
- 4) Filmensartethet: ± 3 % avansert mobilfeltteknologi har forbedret målutnyttelsen betydelig
- Segmentert varmeovnsdesign bidrar til prosessoptimalisering.
Skriv din melding her og send den til oss
