Aluminiumsspeil Inline Magnetron Sputtering Line
Hovedtrekkene
- Aluminium Mirror Inline Magnetron Sputtering Line leveres vanligvis med flere vakuumkamre for å fullføre vakuumbelegget på glassplater.
- Hovedtrekkene:
- 1.Max.glassbeleggstørrelse:2440x3660mm eller tilpasset
- 2. Multi-vakuum kammer og multi-sputtering kammer design er tilgjengelig
- 3. Den horisontale magnetiske kontrolllinjen har enkel-ende og dobbel-ende struktur;glass dobbel rengjøring, belegg, deteksjon, maling, tørking, kjøling kan fullføres på en gang
- 4. Sputtering-belegglinjen bruker PLC for hele prosesskontroll og er utstyrt med fargeskjerm for å vise beleggingsprosessdataene
Lag av belegg: titan, krom, rustfritt stål, aluminium, sølv, kobber, etc.
- Forbindelse: TiN, TiO2, etc.
- Lagtykkelse: 5-100nm
- Transmisjon: 8-40 % ved 380-780 nm bølgelengder
- Deponeringstemperatur: romtemperatur
- Slutttrykk etter 8 timers nedpumping:
- Inngangslåskammer og vakuumlåskammer: 5×10-1 Pa eller lavere
- Bufferkammer 1: 3×10-3 Pa eller lavere
- Sputtering Chamber: 2×10-3 Pa eller lavere
- Bufferkammer 2: 3×10-3 Pa eller lavere
- Utgang av låsekammer og vakuumlåskammer: 5×10-1 Pa eller lavere
Skriv din melding her og send den til oss
