-En/to dører
Ramme og kammer er laget av karbon rustfritt stål.
Hver dør gir et inspeksjonsvindu for visuell kontroll av prosessen.Dørveggene gir en foring i rustfritt stål som er lett å fjerne for vedlikehold.
-Tilpasset vakuumkammer
Kammeret gir indre foringer i rustfritt stål som enkelt kan fjernes for rengjøring.
Pumpene står på dens bakre del.
Kammeret har en rekke små flenser for måling.
- Høyvakuumpumpesystem
Diffusjonspumpe+Boosterpumpe+Mekanisk pumpe
- Vakuummåling og kontroll
Med metall Pirani-måler+metallioniseringsmåler
-Inventar flyttesystem
-PLC kontrollenhet
-Aluminiumsfordampningssystem med transformator med høy effekt
-Jernramme
Strukturen er rimelig
Filmlaget er jevnt
Filmdannende kvalitet
Høy pumpehastighet, kort arbeidssyklus og høy produksjonseffektivitet
Betjening er praktisk
Lavt energiforbruk og stabil ytelse
Modellnummer | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | To dører eller To kammer modell er tilgjengelig | |
Dimensjon på vakuumkammer (diameter * høyde) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Materiale til vakuumkammer | Karbonstål, SUS304 eller SUS316L | ||||||
Teknologi for arbeid | vakuummotstandsfordampning med wolfram- og aluminiumfilamenter, høyeffekts fordampningstransformator | ||||||
Pumpesystem | Diffusjonspumpe+mekaniske pumper, boosterpumpe | ||||||
Pumpetid | Fra atmosfære til 5,0*10-2Pa mindre enn 8 minutter | ||||||
Vakuumgrense | 5,0*10-4 Pa | ||||||
Arbeidstemperatur | Romtemperatur | ||||||
Arbeidsmodus | Automatisk eller manuell modus, med 10,4 tommer PLC-berøringsskjerm | ||||||
Total kraft | 40-80kW | 70-140kW | |||||
Fotspor | 2*2 meter | 2*3 meter | 3*3 meter | 3*3 meter | 3*4 meter | 4*5 meter | 5*6 meter |
Disse enhetene kan du skreddersy | 1. Størrelse på vakuumkammer 2. Konfigurasjoner av pumper | ||||||
Valgfrie instrumenter | 1. Lekkasjedetektor 3. Bue-ioneavsetningssystem 4. Magntron sputtering system |